采用測量夾具得到數(shù)據(jù)必然包含夾具對待測件(DUT)的影響，為得到器件的真實S參數(shù)，必須通過校準去除該影響(通常稱為去嵌入)。校準算法的功能是將測量由夾具兩端測量參考面搬移到DUT兩端的校準參考面，實現(xiàn)DUT的直接測量。