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回顧論文

本文檔由 水云爻 分享于2009-12-09 17:31

-凝膠法制備濺鍍法用的ITO靶材,濺鍍法以該靶材制成的ITO成膜之電阻要比一般...化物薄膜時,是先將前驅(qū)物〔M(OR)n或ML,M:金屬元素,OR:烷氧基,L:陰離子〕...
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回顧論文 成膜 氧化物 ITO Tin ATO 透光度 Films 烷基 靶材
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氧化物 靶材 ito ato 水解 薄膜
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