發(fā)明專利：一種高溫真空烘烤爐及其操作方法
本文檔由 zhangxpei 分享于2013-09-23 09:51
本發(fā)明提供一種高溫真空烘烤爐及其操作方法，該高溫真空烘烤爐由內(nèi)腔室和圍繞內(nèi)腔室的外腔室構成。內(nèi)腔室包括內(nèi)筒、加熱棒、載物臺、熱電偶，用來獲取1200～1600℃高溫；外腔室包括外筒、換熱器、進出氣口、氣缸、真空計，具有中空夾層的不銹鋼外筒對整個腔室起真空密封和水冷作用，外腔室后端的換熱器加速降溫過程通入的冷卻氣體氮氣在內(nèi)外腔室的流通。根據(jù)本發(fā)明的高溫真空烘烤爐烘烤溫度高、升降溫速度快、本底真空高，有效克..